招標(biāo)項(xiàng)目編號(hào)：0618-264TC26070A5
項(xiàng)目名稱(chēng)：壓電/鐵電薄膜沉積磁控濺射+磁控濺射+金屬沉積系統(tǒng)
項(xiàng)目名稱(chēng)(英文)：Magnetron Sputtering Deposition System for Piezoelectric/Ferroelectric and Metal Thin Films
招標(biāo)人：上海芯源創(chuàng)新中心
招標(biāo)機(jī)構(gòu)：中招國(guó)際招標(biāo)有限公司
招標(biāo)機(jī)構(gòu)代碼：0618
招標(biāo)方式：公開(kāi)招標(biāo)
投標(biāo)報(bào)價(jià)方式：線下投標(biāo)
招標(biāo)結(jié)果：重新招標(biāo)
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壓電/鐵電薄膜沉積磁控濺射+磁控濺射+金屬沉積系統(tǒng)重新招標(biāo)澄清或變更公告(1)
發(fā)布時(shí)間：2026-06-05
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